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物镜球差透射 |
一、功能
TEM模式下能够对材料结构进行亚埃尺度(<0.1nm)的表征和分析,表征原子结构像;
利用电子全息技术,可以获取所需样品的振幅和相位信息,是研究材料内势场和磁场分布的有效和高空间分辨的手段,在半导体材料研究中的作用尤为;
可对材料进行原子尺度、微纳米尺度的形貌和成分的三维重构;
可对样品进行DPC分析;
可对材料进行常规的形貌、成分、衍射分析,适用于晶体材料中应力、应变以及缺陷等的研究。
二、技术指标
配备物镜球差校正器和单色器;
配备多档加速电压:300kV、200kV、80kV、30kV;
透射电子显微(TEM)模式的点分辨率:0.07nm (300kV),0.08nm (200kV),0.1nm (80kV),0.15nm (30kV);
扫描透射电子显微(STEM)模式的点分辨率:不大于0.136nm (300kV);
配备电子全息技术;
配备超级能谱系统,能谱分辨率小于136 eV;
极靴间距5mm;
具备分割式STEM探头。
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测试狗 |
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无 | |
19113458249 | |
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